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日本KFLOC DF550C系列数字式质量流量控制器

标配RS485,MODBUS-RTU协议(以太网RJ-45网线接口2个,最多串联99台)

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商品描述

标配RS485,MODBUS-RTU协议(以太网RJ-45网线接口2个,最多串联99台)


日本KFLOC DF550C系列数字式质量流量控制器,金属密封,泄漏率1×10-11Pa•m3/s 
标配RS485,MODBUS-RTU协议 (以太网RJ-45网线接口2个,最多串联99台),适用于高真空


设备、半导体行业、高纯气体/强腐蚀/有毒气体 等对泄漏率有高要求的场合。




产品特色:
通过安装温度流量传感器得到高精确的快速回应
通用的常闭型阀门
无焊接构造,金属密封确保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa•m3/s 
采用膈膜阀减少了死区
间距,主体尺寸和连接的设计可以和其它生产商的控制器兼容00mA最大


技术参数:
流量FS(N2换算):10SCCM-10SLM
气体种类:所有气体(腐蚀性、有毒、特殊气体都可),高纯气体
传感器类型:新型热式传感器
阀门类型:电磁比例阀,常闭
控制范围:2%-100%
控制速度:2%-100%,1秒以内
控制精度:±1.0%FS以内
线性:    ±0.5%FS以内
重复性:  ±0.2%FS以内
工作差压:满量程FS≤5升/分钟,49-294Kpa
          5升/分钟≤满量程FS≤100升/分钟,98-294Kpa
低差压特制:2-149Kpa,根据具体流量来定制
高差压特制:294-784Kpa,根据具体流量来定制
产品耐压:980Kpa
泄漏率:最大为1x10-11Pa.m3 /sec以内
使用温度:0-50℃
允许湿度:10-90%
产品材质:主体-SUS316L
          密封圈:SUS316L
管路接头:1/4英寸VCR
电气接头:D型9针
输入信号:0-5V(模拟信号)
输出信号:0-5V(模拟信号)
数字接口:RS485,MODBUS-RTU 或 ASCII协议 (以太网接口2个,最多串联99台)
供应电源:+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA
产品重量:1100g
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