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PORTER P2000i系列和D2000i系列 液体质量流量计和控制器

专为液体测量设计,结构紧凑、尺寸小巧,简化了系统集成,高纯度和极低的泄漏率

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商品描述

专为液体测量设计,结构紧凑、尺寸小巧,简化了系统集成,高纯度和极低的泄漏率


P2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、精确控制的领域。其简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。独特的热式测量系统提供精确的测量,同时液体温度上升小于5度。高级的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体 进行 快速、稳定的控制。 P2000i系列同时也包括有一个液体质量流量计,用于那些不需要进行流量控制的场合。
D2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、精确控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保(高纯度和泄漏完整性)。独特的层流旁路和传感器部件提供精确的测量,同时液体温度仅上升5度,此外,D2000i的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。
 
设计特点
压电式控制阀
金属密封结构
响应时间快
设计紧凑
316L/316SS不锈钢结构
高精度达± 1%
 
液体流量计和控制器技术参数
流量范围:P2000i系列和D2000i系列液体流量控制器是以异丙醇(IPA)来标定的,
          在测量其它液体介质时需要乘以一个校正系数,具体请参考表一
响应时间:P2000i系列 : 2s( 设定点的2%之内 )
D2000i系列:<1s( 流量的5%之内 )
精度和线性:± 1%满量程(P2000i系列);±1%读数(D2000i系列)
重复性 :P2000i系列:<±0.2%满量程(任意连续温度下)
                    D2000i系列:<±0.2%读数
量程比:P2000i系列:50:1(2%-100%满量程)
                  D2000i系列:20:1(5%-100%满量程)
最大操作温度 :40℃(104℉)
最大操作压力:125PSIG
温度系数 :< 0.1%/℃
输入/流量输出信号 : 0-5VDC/0-5VDC(输出流量信号时:需最小2KΩ电阻)
供电电源:﹢ 15VDC±10%(电流消耗<200mADC时)
泄露率:1х10 -9 atm.cc/s He
预热时间:10分钟(P2000i系列);20分钟(D2000i系列)
电气连接:9针D型
入口 /出口过程连接:1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制阀:压电式常开
内置容积:< 0.71ml(P2000i系列);<1ml (D2000i系列)
重 量:≤ 0.68Kg
 
结构材质
主体:316LSS
传感器组件:316LSS
阀构成部件:316LSS(D2000i系列);302SS和316LSS(P2000i系列)
“ O”型环:316LSS
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