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日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器/计

金属密封,泄漏率1×10-11Pa•m3/s,适用于高真空设备、半导体行业、高纯气体/强腐蚀/有毒气体 等对泄漏率有高要求的场合。

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商品描述

金属密封,泄漏率1×10-11Pa•m3/s,适用于高真空设备、半导体行业、高纯气体/强腐蚀/有毒气体 等对泄漏率有高要求的场合。


日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器/计无焊接结构,金属密封,精确度≤±1%,反应时间≤±1/秒,基本性能适用于半导体过程控制,实现了划时代的低成本。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。适用于高真空设备、半导体洁净室、高纯气体输送等对泄漏率有很高要求的场合。


产品特色:
通过安装温度流量传感器得到高精确的快速回应
通用的常闭型阀门
无焊接构造,金属密封确保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa•m3/s
采用膈膜阀减少了死区
间距,主体尺寸和连接的设计可以和其它生产商的控制器兼容


技术参数:
流量FS(N2换算):10SCCM-20SLM
气体种类:所有气体(腐蚀性、有毒、特殊气体都可),高纯气体
传感器类型:热式传感器
阀门类型:电磁比例阀,常闭
控制范围:2%-100%
控制速度:2%-100%,1秒以内
          另可选:QS快启动,反映时间更快
控制精度:±1.0%FS以内
线性:    ±0.5%FS以内
重复性:  ±0.2%FS以内
工作差压:满量程FS≤5升/分钟,49-294Kpa
          5升/分钟≤满量程FS≤100升/分钟,98-294Kpa
低差压特制:2-149Kpa,根据具体流量来定制
高差压特制:294-784Kpa,根据具体流量来定制
产品耐压:980Kpa
泄漏率:最大为1x10-11Pa.m3 /sec以内
使用温度:0-50℃
允许湿度:10-90%
产品材质:主体-SUS316L
          密封圈:SUS316L
管路接头:1/4英寸VCR
电气接头:D型9针
输入信号:0-5V(模拟信号)
输出信号:0-5V(模拟信号)
供应电源:+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA
产品重量:1000g


电气D型9针连线示意图:
1号针:阀门开关信号(可不接)
2号针:输出信号0-5V
3号针:电源+15VDC
4号针:电源COM
5号针:电源-15VDC(
6号针:输入信号(高)
7号针:输出信号COM
8号针:输入信号(低)
9号针:阀门工作电压反馈(可不接)
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