最大耐压1500PSIG,满量程从5SCCM到1000SLPM,响应时间小于2秒,多种密封材质,兼容大多数腐蚀性气体
性能指标
介质要求:洁净、干燥的气体
量 程:从0-5SCCM到0-1000SLPM(N2标定)(请参考型号表)
量 程 比:50:1(2%-100%满量程)
精 度(含线性精度):1%FS(除114型) FS-满量程 1.5%FS(114型) RD-读数
重 复 性:±0.2%FS
零点漂移:0.05%FS/℃
量程漂移:0.05%RD/℃
压力漂移:0.1%/atm(相对于N2)
预热时间:10分钟
响应时间:1~2秒
环境和工作温度:-10~70℃
上限工作压力:1500PSIG(量程和单位,请参考型号表)
结构材质:主体材质:316SS
传感器组件:316LSS
密封材质(“O”型环和阀座): Buna N或EPDM或Kalrez®或Neoprene或Viton®
过程连接:316SS
输出信号:0-5VDC(最小负载电阻2KΩ)
0-10VDC(最小负载电阻3KΩ)
1-5VDC(最小负载电阻2KΩ)
4-20mA(负载电阻请参考下面的说明):
环路电压为6.5-15VDC时:0-450Ω
环路电压为15-30VDC时:200-750Ω
电压输出供电电源:12VDC(±5%)(仅0-5VDC和1-5VDC输出适用)或15VDC(±10%)
电流输出供电电源:15VDC(±5%) 或 24VDC(±15%)
供电电流:<45mA DC
电气连接:9针D型
安装方向:对位置不敏感
行业应用
大学/研究所
石油石化
环境监测
电厂
工业炉窑
半导体
汽车制造
光伏
燃料电池
计量
过程工艺气体测量


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