ST-550数字型全金属密封质量流量控制器

产品特点：ST550是全新升级的全金属密封产品，它除拥有高精度、快速性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常适用于高真空、强腐蚀或对泄漏率有高要求的场合。应用及案例● 半导体设备● 工业炉窑● 分析仪器● 生物发酵培养设备● 医疗设备● 燃料电池● 燃烧行业● 汽车零部件检测● 真空镀膜● 光伏● 食品和制药● 实验室等产品特点●

所属分类：KOFLOC流量/发生器

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详情介绍

ST550是全新升级的全金属密封产品，它除拥有高精度、快速性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常适用于高真空、强腐蚀或对泄漏率有高要求的场合。

应用及案例

● 半导体设备

● 工业炉窑

● 分析仪器

● 生物发酵培养设备

● 医疗设备

● 燃料电池

● 燃烧行业

● 汽车零部件检测

● 真空镀膜

● 光伏

● 食品和制药

● 实验室等

产品特点

● 采用隔膜式的全金属密封MFC，经过EP以及氧化覆膜处理，可以兼容腐蚀性介质

● 带显示屏（如果选RS485则不带显示屏）

● 数字通讯：可选RS485,DeviceNet?,EtherCAT?

● 可选IGS W型密封圈接头

● 响应时间快：＜1秒

● 高精度：精度±1.0%SP(>10%FS);±0.1%FS(≤10%FS)

● 量程可切换：支持修改满量程的30~110%

● 泄漏率低至＜1.0x10-11pa*m3/sec(He)

技术参数


传感器类型		热式绕线型
阀门		比例电磁阀（断电时关闭）
适用气体※1		干燥的兼容性气体
量程※2		10、30、50、100、300、500SCCM， 1、3、5、10 SLPM	30 SLPM
控制范围		2~100%FS
响应时间		＜1s
精度		±1%SP（10～100%FS）；±0.1%FS（2～10%FS）
重复性		± 0.2%FS
动作压差	L型	50~149 KPa	50~199 KPa
	H型	150~300 KPa	200~300 KPa
入口最大压力		300KPa（G）
最大耐压		1MPa（G）
外部泄漏率		＜1.0x10-11pa*m3/sec（He）
温度	允许环境温度	5~50 ℃
	精度保证温度	15~40 ℃
	允许保存温度	0~60 ℃
允许环境湿度		0~80%RH（未冷凝）
接液材质		316L、PTFE、Au、Co-Ni
密封材料		SUS316L、Au
电气连接	RS485	DB9M接头、RJ-45模块化插孔x 2
	DeviceNet?/EtherCAT?	M12型5芯接头
模拟流量设置信号（只限RS-485）		0～5VDC（输入阻抗约1MΩ）或 4～20mA（输入阻抗约250Ω）
模拟流量输出信号（只限RS-485）		0～5VDC（负载电阻1MΩ以上）或 4～20mA（负载电阻250Ω以下）
数字通讯		RS485/DeviceNet?/EtherCAT?
所需电源		11-25VDC，（5VA max）
过程接口		1.125"W型92 mm或1/4"VCRM
安装方向		建议水平方向
重量		约1000 g